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洁净室工程地面

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time:2019-10-15 09:29:01

19附录一名词解释序号名词解释单向流沿着平行流线,以一定流速向单一方向流动的气流,习惯称层流2洁净度1级对0m微粒的计数浓度是现行100级的1燉100的一个洁净度级别3洁净度10级对05m微粒的计数浓度是现行100级的1燉10的一个洁净度级别4高效过滤器按现行国家标准《高效空气过滤器性能试验方法》GB9165的方法测定,效率不低于999即透过率不高于0.1%的空气过滤器5超高效过滤器对01m微粒的计数效率不低于999即透过率不高于0001%的空气过滤器用图32风管漏风试验装置孔板1:=4mm孔板2r曹=7lmm1—进风档板;2风机;3钢凤管1004孔板;5软管必100rG软管负87、8压差计。

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室洁净室 (3).jpg

无尘室概述

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


无尘室洁净室 (1).png

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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