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南京洁净室

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time:2019-10-15 09:04:12

注:1~3顼必须按表中顺序,其它各项顺序可以稍作变动,14-16项宜放在最后。第四节评定标准第541条检漏按附录六、一的方法步骤进行,由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成的透过率对于高效过滤器,应不大于过滤器出厂合格透过率的2倍,对于超高效过滤器,应不大于出厂合格透过率的3倍。第542条风量和风速的检测应符合下列规定、乱流洁净室按附录六、二检测,结果应符合以下规定1系统的实测风量应大于各自的设计风量,但不应超过20%;2总实测新风量和设计新风量之差,不应超过设计新风量的10%;3室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的15%二、单向流〔层流)洁净室按附录六、二检测,结果应符合以下规定1实测室内平均风速应大于设计风速,但不应超过20%;2总实测新风量和设计新风量之差,不应超过设计新风量的10%第54.3条风速不均匀度按附录六、四检测,并按下式计算,结果应不大于0.2v-v>B5*4·3)ⅴ式中ⅴ风速不均匀度任一点实测风速;V平均风速n测点数第544条静压差按附录六、三检测,其结果应符合下列规定、相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa二、洁净室与室外静压差应大于10Pa三、洁净度高于100级的单向流(层流)洁净室在开门状态下,在出入口的室内侧0.m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

第54.5条室内洁净度按附录六、五检测,然后按下列公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差N;。

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室洁净室 (3).jpg

无尘室概述

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


无尘室洁净室 (1).png

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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