苏州友言机电工程有限公司

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洁净室厂房

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time:2019-10-15 12:02:59

N=x1+n+…5·4*51)(c1-W)2〔5·452C≤级别上限5·4*53N+≤级别上阳式中n测点数;Ci每个采样点上的平均含尘浓度t置信度上限为95%时,单侧t分布的系数,其值见表54.5。系数表点数235~67-910~16l7~29>296.32.92.11.91.71.65第5.46条室內浮游菌和沉降菌按附录六、六检测,应符合设计要求。第547条室內空气温度、相对温度按附录六、七检测应符合下列规定、无恒温要求的场所,温度和相对湿度符合设计要求;二、有恒温恒湿要求的场所∶室温波动范围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大值,占点总数的百分比整理成累积统计曲线,90%以上测点达到的偏差值为室温波动范围,应符合设计要求。

区域温差以各测点中最低的一次温度为基准各测点平均温度与其偏差值的点数,占测点总数的百分比整理成累积统计曲线,90%以上测点所达到的偏差值为区域温差应符合设计要求。相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定第5.48亲室内噪声级按附录六、八检测,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73的规定。第54.9条室内照度和照度均匀度按附录六、九检测,照度值和照度均匀度(即工作面上最低照度值与平均照度值之比)应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GiBJ73的规定。第5410条室内微振按附录六、十检测,三个方向的振幅均应符合设计要求。第54ll条表面导静电性能按附录六、十一检测,当工艺无要求时,表面电阻值应为1.0×107~1.0×1010g泄漏电阻应为1.0×105~10×108g第5412条室内气流流型按附录六、十二检测,应绘出流型图和给出分析意见。

第54↓3祭流线平行性按附录六、十三检测,在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15。第5414条自净时间按附录六、十四检测,实测自净时间不应大于由附图63查出的计算自净时间的2倍。

无尘室概述

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室洁净室 (3).jpg



无尘室洁净室 (1).png

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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