苏州友言机电工程有限公司

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盐城无尘室工程

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time:2019-10-15 11:51:00

走动。第51.5条竣工验收和综合性能全面评定由建设单位负责,设计、施工单位配合。第二节竣工验收第52.1条竣工验收应在对各分部工程做外观检査、单机试运转、系统联合试运转,空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。第522条洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备(空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等)的安装应正确、牢固、严密,其偏差应符合有关规定;高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封;三、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便四、净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘;五、洁浄室的内墙面、吊顶表面和地面,应光滑、平整、色泽均匀,不起灰尘;地板无静电现象六、送、回风囗及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时,穿越处的密封处理应可靠严密;七、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封八、各种刷涂保温工程应符合有关规定。

第523条净化空调器或空调器,排风系统,局部浄化设备(各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等),空气吹淋室,余压阀,真空吸尘清扫设备,烟感、温感火灾自动报警装置,自动灭火装置,净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转应符合设备技术文件的有关规定,属于机械设备的共性要求,还应符合现行国家标准《建筑安裝工程质量检验评定标准》TJ305(通用机械设备安装工程)的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。第524条单机试运转合格后,必须进行带冷(热)源的系统正常联合试运转,并不少于8h。系统中各项设备部件联动运转必须协调,动作正确,无异常现象。第52.5条竣工验收的检测结果应全部符合设计要求,其检测项目应符合下列规定:通风机的风量及转数的检测二、风量的测定和平衡;室内静压的检测调整四、自动调节系统联动运转五、高效过滤器的检漏;六、室内洁净度级别第526条洁净室竣工验收时,施工(安装)单位应提出下列文件。

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室洁净室 (3).jpg

无尘室概述

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


无尘室洁净室 (1).png

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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