苏州友言机电工程有限公司

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沈阳无尘室工程施工

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time:2019-10-15 11:21:02

第4.32条安装在洁净室内的消火栓,其水龙带和消火栓箱内外必须擦洗干净。第433条明装的消火栓箱的箱背应紧贴墙面,并将缝隙用密封胶密封。第4.34条自动灭火系统的喷头短管穿过吊顶处,必须封闭严密。第435条火灾探测器应安装在靠近回风口处,距墙壁或梁的距离应大于0.5m,距送风口的距离应大于0.5m,距全孔板送风口的距离应大于0.5m第4.3.6条在卤代烷灭火系统的灭火瓶站的集流管上应连接通至室外的泄压管,并在泄压管上安裝截止阍第四节气体管道第441条本节适用于洁净室内压力小于等于08MPa的氫气、氧气、氮气、压缩空气、煤气等一般气体和高纯气体管道及真空管道的安装第442祭气体管道管材的型号、规格、化学成份及物理性能应符合设计要求。

管道的表面无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点等缺陷。第443条气体管道的附件应符合下列要求:阀门与氧气接触部分不得用可燃材料,其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯二、气体管道的法兰垫片应符合设计要求,材质柔软、无老化变质和分层现象,表面不应有折损和皱纹等缺陷三、氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等,其材质、型号和规格应符合设计要求,并有符合该介质条件的出厂合格证书第444条气体管道安装应符合下列要求:管道敷设应符合设计要求,设计无要求时,输送干燥气体的管道宜水平安裝;输送潮湿气体的管道应安装成有不小于003的坡度坡度应坡向冷凝水收集器管道的连接采用焊接,并采用钨极氩弧焊打底,手工电弧焊盖面工艺。

不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜四、通过洁净室的气体管道,其法兰墊片或螺纹填料的外露部分,必须清理干净五、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式并在48h内分段组合安装,充入压力不小于0.2MPa的氮气保护六、有接地要求的气体管道,法兰间必须焊有导电跨线,其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求焊点必须牢固、可靠。第44.5条高纯气体管道的安装,除应符合第444条有关要求外,还应符合下列要求经脱脂或抛光处理的不锈钢管,安装前必须采取保护措施,严防二次污染。

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室洁净室 (3).jpg

无尘室概述

无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


无尘室洁净室 (1).png

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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